河北省激光研究所技術(shù)人員在CVD金剛石生產(chǎn)試驗(yàn)室檢查操作系統(tǒng)

       12月3日上午，河北省激光研究所又一批高質(zhì)量CVD（化學(xué)氣相沉積）金剛石刀具產(chǎn)品如期發(fā)貨美國(guó)，標(biāo)志著該所2017年美國(guó)市場(chǎng)的產(chǎn)品訂單全部完成。近年來(lái)，河北省激光研究所大力推進(jìn)CVD金剛石材料研究與開發(fā)，產(chǎn)業(yè)化制備技術(shù)優(yōu)勢(shì)不斷凸顯，目前已成為世界范圍內(nèi)少數(shù)能生產(chǎn)高品級(jí)CVD金剛石的廠商之一，步入了產(chǎn)業(yè)化的快車道。

       “現(xiàn)在著力開發(fā)直徑150毫米金剛石厚膜制備技術(shù)。實(shí)現(xiàn)150毫米直徑金剛石厚膜的沉積，可拓展應(yīng)用領(lǐng)域，提高生產(chǎn)效率?！?河北省激光研究所副所長(zhǎng)王書生告訴《中國(guó)科學(xué)報(bào)》記者，截至目前河北省激光研究所金剛石相關(guān)項(xiàng)目共承擔(dān)了近20項(xiàng)國(guó)家、省部級(jí)科研項(xiàng)目，獲得省部級(jí)科技進(jìn)步獎(jiǎng)7項(xiàng)。

       河北省激光研究所隸屬于河北省科學(xué)院。1992年該所開始涉足于CVD金剛石的研究與開發(fā)，1995年首次獲得國(guó)家“863”計(jì)劃項(xiàng)目支持，第二年年初通過(guò)驗(yàn)收，驗(yàn)收組認(rèn)為：“高功率直流等離子體噴射CVD設(shè)備的研制成功使河北省激光研究所成為繼美國(guó)的兩家公司之后第三家能獨(dú)立開發(fā)此種設(shè)備的單位，它不僅為金剛石膜的工具和熱沉應(yīng)用提供了備選的工業(yè)化制備技術(shù)，而且為我國(guó)從事金剛石膜的光學(xué)應(yīng)用奠定了設(shè)備基礎(chǔ)?！?/p>

       據(jù)悉，之后該項(xiàng)目又連續(xù)兩次獲得國(guó)家“863”計(jì)劃支持。

       王書生介紹，DCArc-CVD技術(shù)在所有制備CVD金剛石方法中，沉積質(zhì)量高、生長(zhǎng)速率最快，這使該所在產(chǎn)業(yè)化制備技術(shù)方面逐步確立了在國(guó)內(nèi)的領(lǐng)導(dǎo)地位。同時(shí)他們?cè)谌蚵氏韧瞥鐾该鞯臋C(jī)械級(jí)CVD金剛石，以其極高的性價(jià)比引起歐美市場(chǎng)的廣泛關(guān)注，并很快取得了全球領(lǐng)先的市場(chǎng)份額。近年隨著該所金剛石制備技術(shù)的提高，金剛石膜面積增大，生產(chǎn)效率提升，性價(jià)比提高，促使跨國(guó)公司E6、美國(guó)公司SP3退出厚膜工具產(chǎn)品的市場(chǎng)。

       “我們自行制備的金剛石膜材料于首次中標(biāo)上海光源工程（國(guó)家大科學(xué)工程）光源前端區(qū)X射線熒光靶探測(cè)器后，上海應(yīng)用物理所又提出了新的技術(shù)要求，經(jīng)過(guò)項(xiàng)目組努力，滿足了各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)要求，全部替代了國(guó)際跨國(guó)公司E6的產(chǎn)品?！焙颖笔】茖W(xué)院科技產(chǎn)業(yè)開發(fā)處副處長(zhǎng)李洪波介紹，目前其CVD金剛石典型應(yīng)用及技術(shù)服務(wù)包括：一主要用于精密機(jī)械加工的工具級(jí)金剛石膜，如修整器坯料、耐磨器件、刀具坯料。其中出口國(guó)外的高性能的金剛石坯料用于制造高精密的修整滾輪，為全自動(dòng)磨床各種復(fù)雜形狀的砂輪做精密修整。加工領(lǐng)域涉及航空航天、新能源中大型風(fēng)能發(fā)電裝置等。二用于散熱的熱學(xué)級(jí)金剛石膜，它是大功率發(fā)光二極管優(yōu)異的散熱材料，作為熒光靶成功使用于國(guó)家大型科學(xué)工程——上海光源，完全替代進(jìn)口產(chǎn)品。三作為光學(xué)窗口的光學(xué)級(jí)金剛石膜，主要應(yīng)用于高功率激光器窗口，高速飛行器窗口材料等。