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PVD與CVD涂層工藝比較

關鍵詞 PVD , CVD , 涂層 , 原創(chuàng)|2011-04-12 10:56:12|技術(shù)信息|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 PVD與CVD涂層工藝比較沉積溫度涂層厚度涂層表面狀態(tài)主要涂層材料涂層結(jié)合強度對環(huán)境影響主要應用領域

 

PVDCVD涂層工藝比較
  沉積溫度 涂層厚度 涂層表面
狀態(tài)
主要涂層
材料
涂層
結(jié)合強度
對環(huán)境
影響
主要應用領域





500℃或更低,
沉積溫度低
刀具變型不,
基體的 硬度
強度不降低。
2~5μm,
涂層較薄
,刃口鋒
利。

涂層為壓應力,有利于抑制裂縫的擴展;刃口可不作鈍處理;表面致密,粗糙度低。
TiN
TiCN
TiA1N
A12o3
A1CrN
MoS2
WC/C
等。
無污染 1.高速鋼通用刀具:鉆頭、絲錐、立銑刀。
2.高速鋼精密復雜刀具:拉刀、齒輪刀具。
3.整體硬質(zhì)合金刀具。
4.可轉(zhuǎn)位螺紋刀片、切斷、切槽刀片。





1000℃,
沉積溫度
高,基體
的 硬度、
強度降低
,需開發(fā)
專門的基
體用于涂層。
5~20μm
或更厚,
適合于開
發(fā)多層厚
膜涂層,
高耐磨性。
涂層為拉應力,易生成裂縫;刃口必須作鈍化處理;表面較粗糙。 TiN
TiC
TiCN
A12o3
ZrO2
金剛石等。
排出的廢氣對環(huán)境
有污染。
1.硬質(zhì)合金可轉(zhuǎn)為刀片:車刀片、銑刀片等。
2.金剛石涂層。
 

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