申請?zhí)枺?01510655728.2
　　申請人：鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司
　　發(fā)明人：王沛 王志強

　　摘要：本發(fā)明公開了一種拋光液中納米金剛石團聚體形貌修整方法，屬于超精密拋光技術(shù)領(lǐng)域。該方法包括以下步驟：取納米金剛石拋光液、金剛石微粉和陶瓷球混合，拋光液中納米金剛石與金剛石微粉、陶瓷球的質(zhì)量比為1:2～5:0.1～0.5，加入研磨緩沖劑，球磨，即可。球磨過程中陶瓷球主要賦予金剛石微粉作用力，使金剛石微粉與納米金剛石團聚體發(fā)生碰撞、擠壓，對團聚體表面進行小幅度研磨，并將團聚體上的突出部分(因團聚方式不同造成團聚形貌不規(guī)整)移除，使其形貌更接近球形，從而達到形貌修整目的。修整后再通過離心、過濾的方式將微米級金剛石與納米級金剛石團聚體分離，得到可直接用于藍寶石晶片拋光加工的納米金剛石拋光液。

　　主權(quán)利要求：1.拋光液中納米金剛石團聚體形貌修整方法，其特征在于：包括以下步驟：取納米金剛石拋光液、金剛石微粉和陶瓷球混合，拋光液中納米金剛石與金剛石微粉、陶瓷球的質(zhì)量比為1:2～5:0.1～0.5，加入研磨緩沖劑，球磨，即可。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形貌修整方法，其特征在于：所述拋光液中納米金剛石的 質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為0.2％～2％，平均粒徑30～300nm。 　　　　　　
　　3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形貌修整方法，其特征在于：所述金剛石微粉采用粒度 M5/10、M6/12、M8/16、M10/20、M15/25中的一種或多種。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形貌修整方法，其特征在于：所述陶瓷球采用氧化鋯珠、 氧化硅珠、氮化硅珠、氧化鋁珠中的一種或多種，粒徑0.5～5mm。
　　5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形貌修整方法，其特征在于：所述研磨緩沖劑采用透平油、 變壓器油、甘油、油酸、白油、聚乙二醇200、聚乙二醇600中的一種或多種，研磨緩沖 劑的加量為納米金剛石拋光液、金剛石微粉和陶瓷球三者總質(zhì)量的2％～8％。
　　6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形貌修整方法，其特征在于：所述球磨時間為10～100min。
　　7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形貌修整方法，其特征在于：所述球磨完畢從球磨混合物 中取出陶瓷球，剩余部分離心取上層液，過濾，得濾液。
　　8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的形貌修整方法，其特征在于：所述離心為在轉(zhuǎn)速 5000～10000r/min下離心5～10min。
　　9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的形貌修整方法，其特征在于：所述過濾采用的濾網(wǎng)孔徑為 0.3～1μm。