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從SiC到GaN，硬脆材料激光剝離技術(shù)該往何處發(fā)展？

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透明硬脆材料由于其出色的機(jī)械強(qiáng)度、熱穩(wěn)定性、抗腐蝕性以及優(yōu)良的光電性能，已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和電子器件制造領(lǐng)域。然而，傳統(tǒng)的切片工藝，如金剛線切割，存在效率低、材料浪費(fèi)...

日期 2024-10-17   
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