金剛石中的氮-空位(NV)色心在室溫下具有優(yōu)異的自旋相干性,被視為量子磁力儀的主要候選材料,在納米尺度現(xiàn)象和高靈敏磁場(chǎng)檢測(cè)方面具有巨大的潛力。然而,要想實(shí)現(xiàn)同時(shí)具有高空間分辨率和高磁場(chǎng)靈敏度的固態(tài)磁力儀仍面臨挑戰(zhàn)。
據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道,近日,日本豐橋技術(shù)科學(xué)大學(xué)(Toyohashi University of Technology)、東京大學(xué)(the University of Tokyo)和美國(guó)哥倫比亞大學(xué)(Columbia University)的研究人員組成的團(tuán)隊(duì)利用片上金剛石微環(huán)諧振器展示了一種具有高磁場(chǎng)靈敏度的納米尺度量子傳感器(圖1)。微環(huán)諧振器通過(guò)將光子限制在納米尺度區(qū)域內(nèi),提高了光子的利用效率,從而在光子芯片上達(dá)到了1.0 μT/√Hz的磁場(chǎng)靈敏度。該研究還證實(shí),這種片上方法通過(guò)與光子波導(dǎo)耦合可實(shí)現(xiàn)高效光提取,進(jìn)一步提升了檢測(cè)靈敏度。該研究工作為用于基礎(chǔ)科學(xué)、化學(xué)和醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域中檢測(cè)各種納米尺度物理量的芯片級(jí)封裝傳感器開(kāi)發(fā)提供了一條途徑。上述研究成果以“High-sensitivity nanoscale quantum sensors based on a diamond micro-resonator”為題發(fā)表于Communications Materials期刊。
圖1 基于金剛石微環(huán)諧振器的量子傳感器
量子傳感器制造
圖2顯示了用于量子傳感器的金剛石微環(huán)諧振器的制造基本工藝流程。圖2a-2c顯示了制造金剛石微環(huán)結(jié)構(gòu)的工藝流程。制造完成的微環(huán)結(jié)構(gòu)的SEM圖如圖2d所示。接下來(lái),研究人員采用“拾取-翻轉(zhuǎn)-放置轉(zhuǎn)印技術(shù)”(Pick-Flip-and-Place transfer printing)將金剛石微環(huán)結(jié)構(gòu)集成于光子芯片,如圖2e-2g所示。集成在SiO?襯底上的金剛石NV色心微環(huán)諧振器的SEM圖如圖2h所示。
圖2 基于金剛石微環(huán)諧振器的量子傳感器制造工藝流程
量子傳感器表征
研究人員通過(guò)進(jìn)行?μ-PL(顯微光致發(fā)光)測(cè)量對(duì)所制造的器件進(jìn)行了表征。圖3a顯示了半徑為1.3?μm、寬度為440?nm的微環(huán)諧振器的典型光致發(fā)光(PL)譜。由于該微環(huán)結(jié)構(gòu)基于三角形波導(dǎo),圖3a中可觀察到橫向電場(chǎng)(TE)模式和橫向磁場(chǎng)(TM)模式。通過(guò)利用洛倫茲函數(shù)對(duì)光致發(fā)光數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合(圖3b),對(duì)于半徑和寬度分別為1.3(2.3)?μm和650(800)nm的微環(huán),其TE模式和TM模式的品質(zhì)因子(Q-factor)分別確定為1000(2200)和1300(2300)。
研究人員對(duì)所制造的器件進(jìn)行了進(jìn)一步的詳細(xì)表征。為此,他們?cè)诠庾有酒系奈h(huán)諧振器附近部署了一個(gè)120 μm的微波天線。圖3c顯示了微環(huán)諧振器的光檢測(cè)磁共振(ODMR)譜。
圖3 基于金剛石微環(huán)諧振器的量子傳感器表征
接下來(lái),研究人員對(duì)所制造的器件進(jìn)行了自旋相干性表征,結(jié)果如圖4所示。
圖4 量子傳感器的自旋相干性表征
磁場(chǎng)靈敏度評(píng)估
最后,研究人員評(píng)估了該量子傳感器對(duì)磁場(chǎng)的靈敏度。圖5a展示了用于評(píng)估靈敏度的鎖相檢測(cè)基本原理。微波頻率被固定在2.8724 MHz。隨后,他們使用位于器件下方的圓形線圈(半徑10 mm,匝數(shù)6)施加了1 kHz的磁場(chǎng),并將其連接到玻璃樣品支架上。磁場(chǎng)的振蕩導(dǎo)致ODMR譜中的信號(hào)下降發(fā)生波動(dòng),該波動(dòng)通過(guò)示波器連接的鎖相放大器進(jìn)行檢測(cè)。
圖5b顯示了檢測(cè)到的鎖相電壓與外加磁場(chǎng)強(qiáng)度的函數(shù)關(guān)系。為了估算該器件的最小可檢測(cè)磁場(chǎng),研究人員對(duì)所獲得的數(shù)據(jù)進(jìn)行了線性擬合,如圖5b所示。圖5c是圖5b中顯示的弱磁場(chǎng)區(qū)域的放大視圖。利用擬合結(jié)果和本底噪聲水平,研究人員估算出該器件的最小可檢測(cè)磁場(chǎng)為1.0 μT/√Hz。
圖5 量子傳感器的磁場(chǎng)靈敏度評(píng)估
用于提高靈敏度的波導(dǎo)耦合結(jié)構(gòu)
研究人員證實(shí),通過(guò)引入最先進(jìn)的波導(dǎo)進(jìn)行金剛石量子傳感,可以進(jìn)一步提高所開(kāi)發(fā)系統(tǒng)的磁場(chǎng)靈敏度。圖6a顯示了所研究結(jié)構(gòu)的示意圖,其中金剛石微環(huán)諧振器被異質(zhì)集成在低損耗的SiN波導(dǎo)旁,該波導(dǎo)與CMOS兼容,因此可以構(gòu)建緊湊和功能化的量子傳感器件。不同金剛石量子傳感器的磁場(chǎng)靈敏度比較如圖6c所示。
圖6 通過(guò)波導(dǎo)耦合進(jìn)一步提高磁場(chǎng)靈敏度
小結(jié)
綜上所述,這項(xiàng)研究展示了一種基于金剛石微環(huán)諧振器的納米尺度高靈敏度量子傳感器。通過(guò)結(jié)合金剛石納米加工技術(shù)與“拾取-翻轉(zhuǎn)-放置轉(zhuǎn)印技術(shù)”,成功制備了含有大量NV色心的高Q值金剛石微環(huán)諧振器。這種基于芯片的方法通過(guò)利用尖端集成光子技術(shù)的優(yōu)勢(shì)有助于實(shí)現(xiàn)量子傳感器的小型化。通過(guò)對(duì)芯片上的NV色心進(jìn)行相干自旋操控,所開(kāi)發(fā)的納米尺度量子傳感器實(shí)現(xiàn)了1.0 μT/√Hz的磁場(chǎng)靈敏度,并達(dá)到了25%的電子自旋共振對(duì)比度。研究人員還通過(guò)數(shù)值模擬證明,基于微腔的平臺(tái)與SiN光子技術(shù)的結(jié)合進(jìn)一步將磁場(chǎng)靈敏度提升至1.3 nT/√Hz。磁場(chǎng)靈敏度的提高顯著減少了數(shù)據(jù)采集時(shí)間,并能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)微弱磁場(chǎng)的實(shí)時(shí)檢測(cè)和監(jiān)控。該金剛石量子傳感器具備亞nT級(jí)靈敏度,可便捷地對(duì)要求微米級(jí)精度的磁場(chǎng)信息進(jìn)行成像??傊?,本項(xiàng)研究基于光子芯片,為納米到微米級(jí)高靈敏度量子傳感鋪平了道路,其應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋凝聚態(tài)物理、化學(xué)、神經(jīng)科學(xué)以及生物醫(yī)學(xué)等。
論文鏈接:https://doi.org/10.1038/s43246-025-00770-x