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祝賀!大尺寸硅片超精密磨削技術(shù)與裝備項(xiàng)目榮獲2019年國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)

關(guān)鍵詞 磨削 , 硅片 , 金剛石|2020-01-13 09:24:43|來(lái)源 中國(guó)超硬材料網(wǎng)
摘要 中國(guó)超硬材料訊1月10日,2019年度國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)在京揭曉,共評(píng)選出296個(gè)項(xiàng)目和12名科技專家。其中,國(guó)家自然科學(xué)獎(jiǎng)授獎(jiǎng)項(xiàng)目46項(xiàng),國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)授獎(jiǎng)項(xiàng)目65項(xiàng),國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)...

中國(guó)超硬材料訊 1月10日,2019年度國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)在京揭曉,共評(píng)選出296個(gè)項(xiàng)目和12名科技專家。其中,國(guó)家自然科學(xué)獎(jiǎng)授獎(jiǎng)項(xiàng)目46項(xiàng),國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)授獎(jiǎng)項(xiàng)目65項(xiàng),國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)授獎(jiǎng)項(xiàng)目185項(xiàng)。

記者從獲獎(jiǎng)名單中了解到,“大尺寸硅片超精密磨削技術(shù)與裝備” 項(xiàng)目榮獲2019年度國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng),該項(xiàng)目主要完成人為大連理工大學(xué)的康仁科、董志剛、朱祥龍和有研半導(dǎo)體材料有限公司、鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司、無(wú)錫機(jī)床股份有限公司等單位。

2019年度國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)

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據(jù)了解,“大尺寸硅片超精密磨削技術(shù)與裝備”項(xiàng)目主要研究?jī)?nèi)容為磨床結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與分析、金剛石砂輪研制、硅片面型控制系統(tǒng)、硅片高效低損傷超精密磨削工藝等,并研制出國(guó)內(nèi)首臺(tái)大尺寸硅片雙主軸三工位全自動(dòng)磨床和大尺寸硅片磨拋一體化機(jī)床等設(shè)備。

項(xiàng)目主要完成人,大連理工大學(xué)朱祥龍教授表示,單晶硅片是集成電路最主要的襯底材料,超精密磨削技術(shù)在硅片的平整化和背面減薄加工得到廣泛應(yīng)用?!按蟪叽绻杵苣ハ骷夹g(shù)與裝備”填補(bǔ)國(guó)內(nèi)φ300mm硅片超精密磨削技術(shù)和設(shè)備的空白,為硅片高精度、高質(zhì)量和高效率的工業(yè)化生產(chǎn)提供技術(shù)支持。 

關(guān)于國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)

國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)每年評(píng)審一次,根據(jù)最新發(fā)布的《關(guān)于深化科技獎(jiǎng)勵(lì)制度改革的方案》,規(guī)定“國(guó)家三大獎(jiǎng)”每年授獎(jiǎng)總數(shù)不超過(guò)300項(xiàng)。國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)包括國(guó)家自然科學(xué)獎(jiǎng)、國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)、國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng),即大家常說(shuō)的“國(guó)家三大獎(jiǎng)”。還包括授予外籍科學(xué)家或外國(guó)組織的中華人民共和國(guó)國(guó)際科學(xué)技術(shù)合作獎(jiǎng),和分量最重的國(guó)家最高科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)。

其中,國(guó)家最高科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)是我國(guó)科技界最高獎(jiǎng)項(xiàng)。2019年國(guó)家最高科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)分別頒給了中國(guó)船舶集團(tuán)所屬719所名譽(yù)所長(zhǎng)黃旭華院士、中國(guó)科學(xué)院大氣物理研究所曾慶存院士。

 

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