碳化硅冶煉過程產(chǎn)生幾種有害氣體，主要有來源于冶煉爐中基本化學(xué)反應(yīng)的一氧化碳（CO）及木屑和焦炭產(chǎn)生的二氧化硫（SO2）,硫化氫（H2S），甲硫醇（CH3SH）等。
　　 一氧化碳是無色，無味，無臭而有毒的氣體?？諝庵幸谎趸己吭?.16%~0.2%時，人在1~1.5h后會中毒死亡，濃度增加到0.5%以上時，人在15min后即中毒死亡。
　　二氧化硫是有臭味的窒息性無色氣體，濃度為0.000006~0.000012時，就可引起鼻，咽刺激性反應(yīng)，高濃度時此起支氣管炎等乃至死亡。
　　 硫化氫和甲硫醇屬于惡息物質(zhì)。硫化氫的嗅閾值為0.0047×10－6，有臭雞蛋味。甲硫醇的嗅閾值為0.0021×10－6，有刺鼻的硫化物味。所以它們即使有微量進入環(huán)境也會使人們感到不舒適，出現(xiàn)頭痛，惡心，食欲不振和精神不集中等癥狀。硫化氫還能引起眼結(jié)膜炎，并被胃腸吸收，當(dāng)進入血液后，部分與血紅蛋白結(jié)合，生成不可還原的硫化血紅蛋白，即能發(fā)生中毒癥狀。
　　衛(wèi)生部，國家建委，國家計委，國家經(jīng)委，國家勞動總局1979年9月30日頒發(fā)，1979年11月1日實行的《工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標(biāo)準》（TJ36－79），對有害物質(zhì)濃度作了規(guī)定（表2-11-1及表2-11-2）。
　　
　　表2-11-1 車間空氣中有害物質(zhì)的最高容許濃度（節(jié)錄）
　　有毒物質(zhì) 一氧化碳 二氧化碳 硫化氫
　　最高容許濃度（mg/m³） 30 15 10
　　
　　表2-11-2 居住區(qū)大氣有害物質(zhì)的最高容許濃度
　　物質(zhì)名稱 一氧化碳 二氧化硫 硫化氫
　　最高容許濃度（mg/m³） 一次 3.00 0.50 0.01
　　 日平均 0.5 0.15
　　
　　 甲硫醇最高容許濃度國內(nèi)尚無標(biāo)準，日本標(biāo)準為0.002×10－6。
　　表2-11-2中一次最高容許濃度，指任何一次測定結(jié)果的最大容許傳值。日平均最高容許濃度，指任何一日的平均濃度的最大容許值。檢驗方法應(yīng)按衛(wèi)生部批準的現(xiàn)行《大氣監(jiān)測檢驗方法》執(zhí)行。
　　 國家計委，國家建委，國家衛(wèi)生部批準的《工業(yè)“三廢”排放試行標(biāo)準（GBJ4－73）》對13類有害物質(zhì)的排放量等作了規(guī)定，將有關(guān)部分節(jié)錄于表2-11-3。
　　 從碳化硅爐逸出的一氧化碳氣體，在爐表面燃燒后殘存部分散布在冶煉間內(nèi)，并不斷向外逸散。曾對固定爐自然通風(fēng)的冶煉間一氧化碳及二氧化硫濃度進行測定，其結(jié)果如表2-11-4，由表可見，一氧化碳濃度都超過了表2-11-1規(guī)定，而二氧化硫都在標(biāo)準以下。
　　
　　表2-11-3 13類有害物質(zhì)的排放標(biāo)準（節(jié)錄）
　　有害物質(zhì)名稱 排放有害物質(zhì)企業(yè)① 排放標(biāo)準
　　 排氣筒高度（m） 排放量（kg/h）②
　　二氧化硫 電站 30456080100120150 82170310650120017002400
　　 冶金 30456080100120 52911423450670
　　 化工 30456080100 3466110190280
　　 硫化氫 化工，輕工 20406080100120 1.33.87.6131927
　　一氧化碳 化工，冶金 3060100 1606201700
　　注：①表示未列入的企業(yè)，其有害物質(zhì)的排放量，可參照本表類似企業(yè)。
　　②表中所列數(shù)據(jù)接平原地區(qū)，大氣為中性狀態(tài)，點源連續(xù)排放制定。間斷排放者，若每天多次排放，其排放量按表中規(guī)定；若每天排放一次而又小于1h，則二氧化硫，一氧化碳等7類物質(zhì)的排放量可為表中規(guī)定量的3倍。
　　
　　表2-11-4 碳化硅冶煉車間有害氣體實測濃度
　　測點 空氣中CO濃度（mg/m³） 空氣中SO2濃度
　　爐上空，吊車駕駛室內(nèi) 93~112 5.41~5.86
　　吊車大梁 61~72.3 4.19~4.72
　　吊車軌道上，下風(fēng)側(cè) 117~190 13.66~11.87
　　爐道上，2m高處 67~81 2.85~3.12
　　爐墻上空，高于爐墻2m處 45~402.4 2.218~9.358