人造金剛石為二氧化碳激光器光學(xué)元件提供無與倫比的性能。它可承受高能量激光，能夠?qū)崿F(xiàn)頗具成本效益和高通量的極紫外光刻加工。
　　2013年2月4日，元素六公司在美國西部光電展（SPIE Photonics West 2013，元素六展位號4203）宣布其美國硅谷工廠已擴(kuò)大了CVD金剛石光學(xué)窗口的規(guī)模化生產(chǎn)能力，該窗口產(chǎn)品被用作激光等離子體極端遠(yuǎn)紫外（EUV）光刻系統(tǒng)的核心組件。元素六美國工廠實現(xiàn)總產(chǎn)能增長50%，在CVD金剛石生產(chǎn)和加工方面取得新突破，這將進(jìn)一步擴(kuò)大公司的全球業(yè)務(wù)，以滿足大尺寸光學(xué)窗口日益增長的市場需求。
　　“極紫外光刻技術(shù)代表了新一代半導(dǎo)體制造的重大技術(shù)進(jìn)步，可實現(xiàn)22納米以下（1x納米，即十納米級）的邏輯器件和存儲器”，元素六technologies事業(yè)部經(jīng)理Adrian Wilson介紹說，“我們相信元素六公司的人造金剛石光學(xué)窗口是傳統(tǒng)光學(xué)材料的一種便捷替代品，也是唯一可實現(xiàn)商業(yè)化激光等離子體極紫外光刻的產(chǎn)品——它可以減少停機(jī)時間，提高晶圓加工能力”
　　為滿足系統(tǒng)設(shè)計師最具挑戰(zhàn)的應(yīng)用需求，元素六針對高功率（20千瓦以上）二氧化碳激光器提供大尺寸（直徑達(dá)71-80毫米）CVD金剛石窗口，并可根據(jù)需求提供更大尺寸窗口產(chǎn)品?；谄洫毺匦再|(zhì)，人造金剛石是能夠承受高通量極紫外光刻的唯一材料，可提高產(chǎn)能和成本效益。此外，元素六開發(fā)出業(yè)內(nèi)最平坦的窗口材料（在633納米波長情況下，表面平整度PV值小于波長的二十分之一），以實現(xiàn)更低波前畸變和更高系統(tǒng)效率。
　　為了確保系統(tǒng)的性能，元素六公司高質(zhì)量人造金剛石窗口在缺陷控制上同樣達(dá)到了極高的水準(zhǔn)?？傮w來說，其專利CVD金剛石產(chǎn)品具有最寬的透光波段、目前已知的最高的熱導(dǎo)率和抗熱沖擊能力——這些是實現(xiàn)極端紫外光刻等高端應(yīng)用需求的核心指標(biāo)。
　　隨著全球制造商極紫外光刻能力的不斷提升，元素六位于美國硅谷、英國阿斯科特以及荷蘭克伊克的大規(guī)模生產(chǎn)工廠將確保公司可滿足客戶的各類需求。元素六擁有超過50年的技術(shù)積累和批量生產(chǎn)經(jīng)驗，向全球3,000多家客戶提供極端性能的解決方案，在多個領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)更高生產(chǎn)率、更低能耗以及前所未見的技術(shù)飛躍。