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鄭州華晶金剛石股份有限公司

元素六美國硅谷工廠增加光學(xué)級CVD金剛石產(chǎn)能

關(guān)鍵詞 金剛石 , 美國硅谷 , 元素六|2013-03-05 09:09:02|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 人造金剛石為二氧化碳激光器光學(xué)元件提供無與倫比的性能。它可承受高能量激光,能夠?qū)崿F(xiàn)頗具成本效益和高通量的極紫外光刻加工。2013年2月4日,元素六公司在美國西部光電展(SPIEPh...
  人造金剛石為二氧化碳激光器光學(xué)元件提供無與倫比的性能。它可承受高能量激光,能夠?qū)崿F(xiàn)頗具成本效益和高通量的極紫外光刻加工。
  2013年2月4日,元素六公司在美國西部光電展(SPIE Photonics West 2013,元素六展位號4203)宣布其美國硅谷工廠已擴(kuò)大了CVD金剛石光學(xué)窗口的規(guī)模化生產(chǎn)能力,該窗口產(chǎn)品被用作激光等離子體極端遠(yuǎn)紫外(EUV)光刻系統(tǒng)的核心組件。元素六美國工廠實現(xiàn)總產(chǎn)能增長50%,在CVD金剛石生產(chǎn)和加工方面取得新突破,這將進(jìn)一步擴(kuò)大公司的全球業(yè)務(wù),以滿足大尺寸光學(xué)窗口日益增長的市場需求。
  “極紫外光刻技術(shù)代表了新一代半導(dǎo)體制造的重大技術(shù)進(jìn)步,可實現(xiàn)22納米以下(1x納米,即十納米級)的邏輯器件和存儲器”,元素六technologies事業(yè)部經(jīng)理Adrian Wilson介紹說,“我們相信元素六公司的人造金剛石光學(xué)窗口是傳統(tǒng)光學(xué)材料的一種便捷替代品,也是唯一可實現(xiàn)商業(yè)化激光等離子體極紫外光刻的產(chǎn)品——它可以減少停機(jī)時間,提高晶圓加工能力”
  為滿足系統(tǒng)設(shè)計師最具挑戰(zhàn)的應(yīng)用需求,元素六針對高功率(20千瓦以上)二氧化碳激光器提供大尺寸(直徑達(dá)71-80毫米)CVD金剛石窗口,并可根據(jù)需求提供更大尺寸窗口產(chǎn)品?;谄洫毺匦再|(zhì),人造金剛石是能夠承受高通量極紫外光刻的唯一材料,可提高產(chǎn)能和成本效益。此外,元素六開發(fā)出業(yè)內(nèi)最平坦的窗口材料(在633納米波長情況下,表面平整度PV值小于波長的二十分之一),以實現(xiàn)更低波前畸變和更高系統(tǒng)效率。
  為了確保系統(tǒng)的性能,元素六公司高質(zhì)量人造金剛石窗口在缺陷控制上同樣達(dá)到了極高的水準(zhǔn)??傮w來說,其專利CVD金剛石產(chǎn)品具有最寬的透光波段、目前已知的最高的熱導(dǎo)率和抗熱沖擊能力——這些是實現(xiàn)極端紫外光刻等高端應(yīng)用需求的核心指標(biāo)。
  隨著全球制造商極紫外光刻能力的不斷提升,元素六位于美國硅谷、英國阿斯科特以及荷蘭克伊克的大規(guī)模生產(chǎn)工廠將確保公司可滿足客戶的各類需求。元素六擁有超過50年的技術(shù)積累和批量生產(chǎn)經(jīng)驗,向全球3,000多家客戶提供極端性能的解決方案,在多個領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)更高生產(chǎn)率、更低能耗以及前所未見的技術(shù)飛躍。
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