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改進結構的研磨盤

關鍵詞 研磨盤|2006-01-03 00:00:00|技術信息|來源 中國超硬材料網
摘要 本實用新型涉及一種改進結構的研磨盤,研磨盤主要有一基板結合于研磨機具上,基板異于研磨機具一側結合一主盤體,主盤體異于基板一側貼合一具通孔的研磨層,主盤體朝研磨層一側設有一環(huán)溝,環(huán)溝...

  本實用新型涉及一種改進結構的研磨盤,研磨盤主要有一基板結合于研磨機具上,基板異于研磨機具一側結合一主盤體,主盤體異于基板一側貼合一具通孔的研磨層,主盤體朝研磨層一側設有一環(huán)溝,環(huán)溝周緣設有數(shù)約朝研磨盤旋轉切線方向傾斜延伸出外緣的導槽,環(huán)溝上穿設有數(shù)排塵孔,且基板相對各排塵孔位置設有穿 孔。藉此,研磨盤旋轉研磨時,傾斜的導槽可使氣流竄入,有效提高排除研磨中灰塵的效率。
 

 

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