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官方微信摘要 名稱在顆粒上包覆金剛石樣碳的方法與設(shè)備公開號1279729公開日2001.01.10主分類號C23C16/44&nb
| 名稱 | 在顆粒上包覆金剛石樣碳的方法與設(shè)備 | ||
| 公開號 | 1279729 | 公開日 | 2001.01.10 |
| 主分類號 | C23C16/44 | 分類號 | C23C16/44 |
| 申請?zhí)?/strong> | 98811433.X | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1998.10.07 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | 1997.11.26 US 08/979,072 | |
| 申請人 | 美國3M公司 | 地址 | 美國明尼蘇達(dá)州 |
| 發(fā)明人 | M·M·戴維 | 國際申請 | PCT.US98/21111 1998.10.7 |
| 國際公布 | WO99.27157 英 1999.6.3 | 進(jìn)入國家日期 | 2000.05.22 |
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人 | 余穎 |
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種金剛石樣碳包覆顆粒的制備方法，所述金剛石樣覆層可以包含其他組分。所述方法包括：在真空射頻電源電容耦合反應(yīng)器系統(tǒng)內(nèi)令眾多顆粒與碳等離子體接觸，在所述系統(tǒng)內(nèi)，在電極周圍形成離子鞘，攪拌顆粒的方式使它們的表面與等離子體內(nèi)的反應(yīng)性物質(zhì)接觸，同時顆?；旧咸幱陔x子鞘內(nèi)。本發(fā)明的優(yōu)點在于：（i）以高沉積率在顆粒上有效沉積DLC，（ii）沉積致密的 DLC覆層；（iii）能夠在DLC沉積前用含氧和含氬等離子體通過離子轟擊原位進(jìn)行顆粒的表面清潔；和（iv）能夠在包覆過程中通過調(diào)整覆層的組成和離子轟擊的密度改變覆層的整體和表面性能?！ ? | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號