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官方微信摘要 名稱(chēng)一種激光化學(xué)氣相沉積金剛石膜的方法公開(kāi)號(hào)1122378公開(kāi)日1996.05.15主分類(lèi)號(hào)C23C16/26&nb
| 名稱(chēng) | 一種激光化學(xué)氣相沉積金剛石膜的方法 | ||
| 公開(kāi)號(hào) | 1122378 | 公開(kāi)日 | 1996.05.15 |
| 主分類(lèi)號(hào) | C23C16/26 | 分類(lèi)號(hào) | C23C16/26;C23C16/48 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 95111978.8 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1995.09.11 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請(qǐng)人 | 中國(guó)科學(xué)院金屬研究所 | 地址 | 110015遼寧省沈陽(yáng)市沈河區(qū)文化路72號(hào) |
| 發(fā)明人 | 馮鐘潮; 趙巖; 張炳春 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu) | 中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)專(zhuān)利事務(wù)所 | 代理人 | 張晨 |
| 摘要 | 一種激光化學(xué)氣相沉積金剛石膜的方法，最低沉積溫度為２５０℃，其特征在于選用波長(zhǎng)在３０８ｎｍ的ＸｅＣｌ準(zhǔn)分子激光作激光源，過(guò)程如下：將欲沉積襯底放在高導(dǎo)熱率材料的工作臺(tái)上，用ＸｅＣｌ準(zhǔn)分子激光輻照襯底欲沉積金剛石膜區(qū)，并在預(yù)抽真空的反應(yīng)室中通入能吸收該激光波長(zhǎng)的碳?xì)浠衔锓磻?yīng)氣（含汽化液體或固體）和氫氣，碳?xì)浠衔锓磻?yīng)氣與氫氣的流量比為（１ —３）∶１００，在適當(dāng)工藝條件下，在襯底表面沉積出金剛石膜，工藝條件是：?jiǎn)蚊}沖能量２０—５００ｍｊ／ｐｕｌｓｅ脈寬１５—４０ｎｓ脈沖頻率５—４０Ｈｚ。本發(fā)明所制膜層純度高，沉積溫度低，易于實(shí)現(xiàn)，安全可靠?！?/td> | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)