申請(qǐng)?zhí)? 201720764560.3

申請(qǐng)日: 2017.06.28

申請(qǐng)人: 南京威途真空技術(shù)有限公司

發(fā)明人: 楊立秋; 徐松林

       摘要： 

       本實(shí)用新型公開(kāi)了一種金剛石真空釬焊爐抽氣系統(tǒng)，包括機(jī)械泵、第一羅茨泵、第二羅茨泵、擴(kuò)散泵、粗真空閥門(mén)、第一真空閥門(mén)和第二真空閥門(mén)；機(jī)械泵的進(jìn)氣口與第一羅茨泵的出氣口連通，第一羅茨泵的進(jìn)氣口與第二羅茨泵的出氣口連通，第二羅茨泵的進(jìn)氣口通過(guò)三通管分成兩路：一路連接第一真空閥門(mén)的出氣口，第一真空閥門(mén)的進(jìn)氣口與擴(kuò)散泵的側(cè)出氣口連通，擴(kuò)散泵的進(jìn)氣口與粗真空閥門(mén)的下出氣口連通；另一路與第二真空閥門(mén)的出氣口相通，第二真空閥門(mén)的進(jìn)氣口與粗真空閥門(mén)的側(cè)出氣口連通。本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型處理后的金剛石真空釬焊爐爐體內(nèi)的真空度高，并且本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，占地面積小，占用的空間小。

       主權(quán)利要求:

       一種金剛石真空釬焊爐抽氣系統(tǒng)，其特征在于：包括機(jī)械泵（1）、第一羅茨泵（2）、第二羅茨泵（3）、擴(kuò)散泵（4）、粗真空閥門(mén)（5）、第一真空閥門(mén)（6）和第二真空閥門(mén)（7）；所述的機(jī)械泵（1）的進(jìn)氣口通過(guò)管路與第一羅茨泵（2）的出氣口連通，第一羅茨泵（2）的進(jìn)氣口通過(guò)管路與第二羅茨泵（3）的出氣口連通，第二羅茨泵（3）的進(jìn)氣口通過(guò)三通管（8）分成兩路：一路通過(guò)管路連接第一真空閥門(mén)（6）的出氣口，第一真空閥門(mén)（6）的進(jìn)氣口通過(guò)管路與擴(kuò)散泵（4）的側(cè)出氣口連通，擴(kuò)散泵（4）的進(jìn)氣口與粗真空閥門(mén)（5）的下出氣口連通；另一路與第二真空閥門(mén)（7）的出氣口相通，第二真空閥門(mén)（7）的進(jìn)氣口通過(guò)管路與粗真空閥門(mén)（5）的側(cè)出氣口連通，所述的粗真空抽氣閥門(mén)的進(jìn)氣口用于與金剛石真空釬焊爐的爐體連通。