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關(guān)于CVD金剛石

 2015-02-28  2506
 

碳有三種已知的同素異形體:金剛石、石墨富勒烯。

金剛石晶體中每個碳原子都以sp3雜化軌道與另外4個相鄰的碳原子形成共價鍵,每四個相鄰的碳原子均構(gòu)成正四面體(a),形成無限的三維網(wǎng)。四個正四面體為一個晶胞,晶體類型為立方面心(b)。金剛石中的C-C鍵很強,所有的價電子都參與了共價鍵的形成,沒有自由電子,所以金剛石硬度非常大,不導(dǎo),熔點在攝氏3800℃。金剛石在純氧中燃點為720800℃,在空氣中為8501000℃。室溫下不溶于任何酸和堿,高溫下不耐含氧酸鹽和強堿,一定溫度下與鐵、鈷、鎳、錳和鉑等金屬發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

 CVDChemical Vapor Deposition化學(xué)氣相沉淀)金剛石。含碳氣體和氫氣的混合物在高溫和低于標準大氣壓的壓力下被激發(fā)分解,形成活性金剛石碳原子,并在基體上沉積交互生長成多晶金剛石(或控制沉積生長條件沉積生長金剛石單晶或者準單晶)。

由于 CVD 金剛石中不含任何金屬催化劑,因此它的熱穩(wěn)定性接近天然金剛石。 CVD 金剛石晶粒呈無序排列,無脆性解理面,因此呈現(xiàn)各向同性。

 

    (一)CVD金剛石的主要性質(zhì):

硬度

抗拉強度

抗壓強度

摩擦系數(shù)

~10000Kg/mm2

272 Kg/mm2

9.8×1013 Kg/mm2

0.05~1

楊氏模量

密度

熱沖擊系數(shù)

泊松比

1.05×1012Pa

3.51g/cm3

107W/m

0.22

熱導(dǎo)率

熱膨脹系數(shù)

電阻率

相對介電常數(shù)

8~20W/(cm·K)

2.3×10-6/

~106Ω·m

5.7

電子遷移率

空穴遷移率

飽和電子漂移速度

禁帶寬度

2200cm2/V·S

1800 cm2/V·S

2.5×107cm/s

1.12ev

   由于CVD金剛石具有如此多的優(yōu)異性能,使的CVD金剛石在機械,微電子,熱學(xué),光學(xué),宇航,軍事,醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域具有無可替代的作用和廣闊的應(yīng)用前景。

 (二)直流電弧等離子體噴射法生產(chǎn)CVD 金剛石:

 目前生產(chǎn)CVD金剛石有:熱絲法,微波等離子體法,直流熱陰極法和直流電弧等離子體法。其中直流等離子體法以生長速度快,金剛石膜的純度比較高而勝過其他幾種方法。直流等離子體法制備金剛石膜基本原理如圖(c)。

                    

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